以下是關(guān)于?碼盤(pán)蝕刻?的工藝流程及技術(shù)要點(diǎn)，綜合金屬與玻璃材質(zhì)加工工藝：

一、核心工藝流程?

1、基材準(zhǔn)備?

金屬碼盤(pán)?：常用SUS304不銹鋼（厚度0.1~2.0mm）或銅材，需經(jīng)除油、酸洗去除氧化層，確保表面潔凈。

玻璃碼盤(pán)?：采用光學(xué)玻璃（如K9、石英），需拋光至表面粗糙度<0.02μm。

2、圖形轉(zhuǎn)移?

掩膜制作?：金屬碼盤(pán)噴涂感光油墨（靜電除塵后），UV曝光顯影形成圖案；玻璃碼盤(pán)采用光刻膠+激光光刻（德國(guó)設(shè)備，精度達(dá)納米級(jí)）。

半刻工藝?：支持LOGO或編號(hào)蝕刻，深度可控。

3、蝕刻加工?

金屬蝕刻?：

濕法：FeCl?溶液（40~50℃）蝕刻不銹鋼，側(cè)蝕率<10%，精度±0.01mm。

干法：等離子蝕刻（CF?/O?）用于高精度需求。

玻璃蝕刻?：氫氟酸溶液腐蝕，需控制濃度與時(shí)間避免過(guò)度刻蝕。

4、后處理?

去膜清洗：金屬碼盤(pán)用NaOH溶液去膠，玻璃碼盤(pán)需氧等離子灰化殘留。

防腐蝕處理：金屬碼盤(pán)可鍍鎳或鈍化（鉻酸鹽），玻璃碼盤(pán)鍍?cè)鐾改ぁ?/p>

二、技術(shù)優(yōu)勢(shì)?

無(wú)毛刺變形?：化學(xué)蝕刻避免機(jī)械應(yīng)力，保持材料平整度（金屬碼盤(pán)≤0.02mm）。

復(fù)雜圖形?：支持微米級(jí)碼道（最小0.06mm）及異形結(jié)構(gòu)加工。

量產(chǎn)效率?：卷對(duì)卷工藝日產(chǎn)能達(dá)1000㎡（金屬），玻璃碼盤(pán)批量交期3天。

三、應(yīng)用場(chǎng)景?

編碼器?：高精度碼道（±0.0075mm）確保信號(hào)穩(wěn)定性。

光電設(shè)備?：玻璃碼盤(pán)用于激光測(cè)距、光柵傳感器。